依据不同状况，三明纯水处理体系的一些单元将发生增减

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　　随着科学研究的不断进步和开展，半导体行业需求大量高质量的纯水。现在，反渗透和离子交换设备的办法更为流行。

　　尽管一次本钱略高于曾经，但离子再生周期相对较长，酸碱消耗量远低于曾经。本文分析了反渗透预处理和电去离子装置的办法，是纯三明水处理设备相对先进和环保的工艺办法，无需酸碱再生即可连续生产纯水，不会污染环境，纯水是世界上纯净质量要求高的水。

　　半导体行业中纯水设备体系选用先进的水处理技能和设备：预处理体系，下降水中溶解总固体的含量，去除水中的悬浮杂质。反渗透体系首要选用双级反渗透技能，以削减能耗。电去离子通常选用EDI模块和CEDI模块，EDI是指在浓水室注入盐水循环，下降膜组电阻率，不仅如此，还需求运用无硬度离子的精盐，以保证高精度。CEDI模块是指在不注入盐水循环的状况下，不运用化学物质，经过树脂技能下降膜组电阻率，浓水电导率为20～100μS/cm，无极水排放，抛光混床部分基本选用双级抛光混床。

　　三明纯水处理体系优化规划

　　传统纯水设备设备安装后，无人问津数据的搜集和办理。传统形式对体系优化有很大的弊端。首先，它对水生产过程的操作人员有很大的依赖性，需求实时确认和解说水质、氮供应和各种汞的运转状况。因而，它对办理者的专业才能要求很高，会损失许多专业人才。

　　1、确定设备过程

　　针对原水水质和产水水质，拟定相关的纯三明水处理设备工艺。现在，纯水处理体系的一些单元将依据不同状况增减，以满意不同行业的不同水质。例如，集成电路8英寸纯水的电阻率为18M?-cm 25℃。在光电行业，蓝宝石衬底的纯水要求电阻率至少为16M?-cm 25℃。光伏行业太阳能级多晶硅纯水，对电阻率的要求一般为10M?-cm 25℃。

　　2、优化本钱

　　设备本钱和运转本钱是纯水设备的首要本钱。设备本钱一般是大部分本钱。工艺流程拟定后，考虑到备件的维护，能够购买国外设备，在功能不差的前提下能够购买国内设备。不要过分寻求市场上高科技、高本钱的设备，避免功率没有提高，本钱大大提高。

　　3、安稳体系

　　保证安稳合格的水质是纯水处理设备的目标。为了完成体系安稳性，过滤塔、汞和离子交换塔的规划选用N+1原则。在控制体系方面，选用支持热插拔和冗余的技能，以保证体系随时安稳运转。在电力体系方面，紧迫电源一般可用于市政电源和不间断电源。